真空探针台设备组成￤
探针台￤设备主体；
控制器￤PID温度控制器；
真空维持系统￤真空泵；
液氮罐￤降温系统；
电脑主机￤测试监控；
探针台组成
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探针台为小尺寸样品测量电特性､PID自整定连续多点控温､提供高精度可控的测量环境､帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能｡
探针台设备通过定制样品台和测量方式､可以实现￤
基础测试；
保护气氛电路测试；
高低温真空探针台；
超高频探针台；
光电流分析；
FA失效分析等测量和分析平台｡
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